Máy nén helium có thể lái các loại cryopump có kích thước khác nhau, được chia thành 8 inch, 10 inch và 16 inch theo đường kính của mặt bích. Máy nén Helium cũng có thể được sử dụng trong các loại cryopump từ các nhà sản xuất khác nhau. Để biết thêm thông tin về máy nén helium, vui lòng đọc các từ sau.