Việc áp dụng máy nén helium1. Chủ yếu được sử dụng trong chất bán dẫn, phục vụ như một khí bảo vệ để bay hơi, phun và hệ thống chân không cấy ion trong thiết bị xử lý phía trước. Các phản ứng hóa học xảy ra trong quá trình xử lý bán dẫn thường dựa trên khí hoặc chất lỏng